スキャトロメトリーとはfdtd.bizにドメインを異動して、goo
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で、Scatterometryスキャトロメトリー検索1位復活しました。
1.Scatterometry検査装置開発
光波を用いたScatterometry(光波散乱計測)は、玉川大学の長年の研究によって世界でも最先端のノウハウを蓄積してきました。この技術を活用して、世界に先駆けて光波による3次元断面形状計測装置の製作を行い、先端分野における新技術開発のために貢献し ...
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2.委託研究受け入れ中
光波を用いたScatterometry(光波散乱計測)は、白崎教授の長年の研究によって世界でも最先端のノウハウを蓄積してきました。この技術を活用して、世界に ... (1)白崎博公、"斜め入射を考慮したFDTD法による次世代半導体線路幅形状のscatterometry計測"、 ...
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