JEITA(御茶ノ水)8月30日(木)に、JEITA半導体部会でスキャトロメトリ(scatterometry)の最近動向について講演を行いました。今回は、現在の光波利用に加えて、波長が1ナノメートルのX線スキャトロメトリの可能性についても講演いたしました。参加者は、日本の半導体製造関連の大企業が多く、お付き合いのある会社の方や、サンノゼなどで毎年お会いする知り合いの方も何人かおられました。
このJEITA半導体部会サイトには、中学生・高校生向けの「半導体ミニ事典」、大学生向けの冊子「21世紀ＩＴ社会を拓く−半導体産業からのメッセージ−」があります。興味のある方は、お読み下さい。
